1ナノグラム単位の微小物質を検知 【雰囲気分析装置】

超微量の物質検知に力を発揮

特徴

  • LSI製造装置内の汚染度検知・測定技術を用途展開
  • センサー部は密閉容器に挿入でき、コントローラも小型・軽量でPCに接続可能
  • 汚染物質の特定も可能
  • 閉鎖空間での微小な環境変化検知や特定の物質等への応用が可能

1ナノグラム単位の微小物質を検知 【雰囲気分析装置】 タカネ電機株式会社 富士通

成約企業

会社名タカネ電機株式会社
所在地川崎市中原区上小田中5-2-2
電話番号044-751-6101
FAX番号044-751-6103
事業内容ソフトウェア開発、ワイヤーハーネス加工、中間製品の製造(組立、配線、検査、調整)、電子機器の修理やメンテナンス

導入技術

富士通(株) 所有知的財産
・「雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法」
・「分子汚染監視システム、保管搬送容器、および分子汚染センサ」